半導体製造装置を手がけるジェイ・イー・ティは２０２６年に環境負荷を減らした枚葉式洗浄装置を市場投入する。半導体に使うシリコンウエハーを１枚ずつ洗う洗浄工程において硫酸と過酸化水素をオゾンガスに置き換える。半導体の最終ユーザーがサプライチェーン（供給網）全体での環境負荷低減を求めており、ジェイ・イー・ティはこの潮流に商機を見いだす。 硫酸と過酸化水素を合わせて使う「ＳＰＭ洗浄」は半導体の製造工...

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環境負荷減らす…ジェイ・イー・ティ、枚葉式半導体洗浄装置投入

中堅半導体洗浄装置メーカーであるジェイ・イー・ティ(JET)が、2nmプロセスでの半導体量産を目指す日本のRapidus(ラピダス)より次世代半導体製造技術の研究開発業務を受託したと発表した。 受託業務の内容については、 受託先との守秘義務契約より公表を差し控えるとJETでは説明しているが、今後、ラピダスが北海道の千歳市に建設を進めている半導体製造ラインへ同社の装置の納入を目指すとしている。...

株式会社ジェイ・イー・ティ

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